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              簡述退火爐的分類及特點

              作者: 瀏覽:311 時間:2020-12-07

              退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶

              退火爐是用于制造半導體器件的過程,該過程包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在實現不同的效果。 可以加熱晶圓以激活摻雜劑,將薄膜轉化為薄膜,或者將薄膜轉化為晶圓基材界面,制成致密沉積的薄膜,改變生長薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動晶圓。 摻雜劑或改變摻雜劑試劑從一層膜轉移到另一層,或從膜轉移到晶圓基板中。 退火爐的主要功能體現在以下四個方面:

              1。 改善或消除鑄鋼,軋制,鍛造和焊接引起的各種結構缺陷和殘余應力,并避免工件變形和開裂。

              2,為終的熱處理(淬火,回火)做好準備。

              3。 細化晶粒并改善結構以改善工件的機械性能。

              4。 軟化工件以利于切割。

              簡述退火爐的分類及特點  

              退火爐的常見分類如下:

              1。 退火爐分為三種類型:電加熱,油加熱和氣體加熱。 它們是電加熱退火爐,燃料退火爐和天然氣退火爐。

              2,將退火爐分為不同的爐體結構,例如車式退火爐,凹坑式退火爐,箱式退火爐和鐘罩式退火爐。

              3。 退火爐也可以分為真空退火爐,受控氣氛退火爐和在自然氣氛中加熱的退火爐。


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