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              退火爐常會遇到哪些故障

              作者: 瀏覽:259 時間:2021-04-21

              退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。優造節能熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄

              退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。優造節能熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐在使用中常會遇到以下幾種情況:

              1、退火溫度是否達到規定溫度。

              退火爐一般是采取固溶熱處理,也就是人們平常所謂的“退火”,溫度范圍為1040~1120℃(日本標準)??梢酝ㄟ^退火爐觀察孔觀察,退火區的不銹鋼管應為白熾狀態,但沒出現軟化下垂。

              2、退火氣氛。

              一般都是采用純氫作為退火氣氛,氣氛純度是99.99%以上,如果氣氛中另一部分是惰性氣體的話,純度也可以低一點,但是不能含有過多氧氣、水汽。

              3、爐體密封性。

              退火爐應是封閉的,與外界空氣隔絕;采用氫氣作保護氣的,只有一個排氣口是通的(用來點燃排出的氫氣)。檢查的方法可以用肥皂水抹在退火爐各個接頭縫隙處,看是否跑氣;其中容易跑氣的地方是退火爐進管子的地方和出管子的地方,這個地方的密封圈特別容易磨損,要經常檢查經常換。


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